Instrumen iki nganggo non-kontak, cara pangukuran interferometrik fase-shifting optik, ora ngrusak permukaan benda kerja sajrone pangukuran, kanthi cepet bisa ngukur grafis telung dimensi permukaan mikro-topografi saka macem-macem benda kerja, lan nganalisa lan ngetung pangukuran. asil.
Deskripsi Produk
Fitur: Cocog kanggo ngukur kekasaran permukaan macem-macem blok gauge lan bagean optik; ambane reticle panguwasa lan dial; kekandelan lapisan saka struktur alur grating lan morfologi struktur wates lapisan; lumahing disk Magnetik (optik) lan pangukuran Struktur sirah Magnetik; kekasaran permukaan wafer silikon lan pangukuran struktur pola, lsp.
Amarga akurasi pangukuran sing dhuwur saka instrumen kasebut, nduweni karakteristik pangukuran non-kontak lan telung dimensi, lan nggunakake kontrol komputer lan analisis cepet lan pitungan asil pangukuran. Instrumen iki cocog kanggo kabeh tingkat unit riset tes lan pangukuran, ruangan pangukuran perusahaan industri lan pertambangan, bengkel pangolahan presisi, lan uga cocog kanggo Institusi pengajian tinggi lan lembaga riset ilmiah, lsp.
Parameter teknis utama
Rentang pangukuran ambane ora rata mikroskopik permukaan
Ing lumahing sing terus-terusan, nalika ora ana owah-owahan dhuwur kanthi tiba-tiba luwih saka 1/4 dawa gelombang antarane rong piksel jejer: 1000-1nm
Nalika ana mutasi dhuwur luwih saka 1/4 saka dawa gelombang antarane rong piksel jejer: 130-1nm
Repeatability pangukuran: δRa ≤0.5nm
Pembesaran lensa objektif: 40X
Bukaan angka: Φ 65
Jarak kerja: 0.5mm
Bidang tampilan instrumen Visual: Φ0.25mm
Gambar: 0,13 × 0,13 mm
Perbesaran instrumen Visual: 500×
Photograph (diamati dening layar komputer)-2500×
Array pangukuran panrima: 1000X1000
Ukuran piksel: 5.2 × 5.2µm
Wektu pangukuran sampling (scanning) wektu: 1S
Reflektivitas pangilon standar instrumen (dhuwur): ~50%
Pantulan (kurang): ~ 4%
Sumber cahya: lampu pijar 6V 5W
Panjang gelombang filter interferensi ijo: λ≒530nm
Setengah jembaré λ≒10nm
Angkat mikroskop utama: 110 mm
Angkat meja: 5 mm
Range gerakan ing arah X lan Y: ~ 10 mm
Range rotasi meja kerja: 360 °
Kisaran kemiringan meja kerja: ± 6°
Sistem komputer: P4, 2.8G utawa luwih, tampilan layar datar 17 inci kanthi memori 1G utawa luwih